3月10日晚间，芯源微（688037）公告称，因持股5%以上的股东先进制造与北方华创签署了《股份转让协议》，先进制造拟将其持有的1906.49万股公司股份以88.48元/股的价格转让给北方华创，占公司总股本的9.49%。与此同时，芯源微第三大股东中科天盛也正筹划挂牌转让手中8.41%的上市公司股份，价格不低于85.71元/股。

国内半导体设备龙头北方华创（002371）同日公告称，公司拟以现金为对价，协议受让上述股份，交易金额为16.87亿元。这意味着，北方华创将成为芯源微的第二大股东。

资料显示，芯源微成立于 2002 年，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。

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